Måling, direkte i hjelpestrømmen

Måleverdiregistreringen finner sted direkte i bypasskanalen. Et laminar-flow-element i hovedkanalen produserer et lavt trykkfall, som driver en liten del av den totale gjennomstrømningen gjennom bypasskanalen. Sensoren, som sitter der, registrerer massegjennomstrømningen direkte som temperaturforskjell. Målingen foregår her i en spesielt formet strømningskanal hvis vegger inneholder på et sted en Si-chip med en membran som er etset ut. På denne membranen er det festet en glødemotstand i CMOSens®-teknologi og symmetrisk til denne, oppstrøms og nedstrøms, to temperatursensorer. Når glødemotstanden mates med en konstant spenning er temperatursensorenes differansespenning et mål for mengdegjennomstrømningen av gassen som strømmer i strømningskanalen via chipen.