Plassbesparende og vedlikeholdsfrie temperaturkontrollløsninger for dine CVD-belegganlegg

Utvikling og produksjon av CVD-belegganlegg er kompleks og krever spesiell kunnskap. Dette gjelder spesielt kjøling. Samspillet mellom sensorer og aktuatorer for kjølesystemene til anlegget ditt er avgjørende. Takket være det store utvalget av komponenter og mange års erfaring, kan Bürkert tilby deg en kjøleløsning som er individuelt tilpasset dine behov. Vi vil gi hjelp og støtte som din kompetente fluidikkpartner fra planlegging til igangkjøring og vedlikehold.

Begrenset romlig kapasitet og vanskelig maskinvedlikehold i CVD-belegganlegg

CVD-belegganlegg må levere maksimal ytelse for å kunne fungere økonomisk. Effektiv kjøling spiller en avgjørende rolle i dette. Dette er fordi CVD-belegget bare skal avsettes på substratet og ikke i reaktoren.
Totalt sett bør belegganlegget være så kompakt som mulig. Derfor er det i vanlige løsninger vanskelig å bytte ut komponenter på grunn av den begrensede plassen som er til disposisjon. Ofte må hele undersystemene demonteres på en møysommelig måte for å få tilgang til den faktiske slitasjedelen. I tillegg tar det lang tid å skaffe de delene som skal byttes ut.

Et fluidikkonsept for et belegganlegg er svært krevende og komplekst. Fra og med konstruksjonen, gjennom valg og testing av komponentene i samspill med kjøp, montering og riktig drift.

Grafische Darstellung von links nach rechts: PC-Arbeitsplatz plus Figur in Arbeitskleidung, darüber eine Sprechblase mit einem Fluidikplan und Fragezeichen – Figur in Arbeitskleidung, die eine komplexe technische Einheit zusammensetzt, Schachteln, in denen sich Bauteile befinden – Figur in Arbeitskleidung mit einem Zettel in den Händen vor einer größeren technischen Anlage in einem Schrank, geöffnete Tür

Konstruksjon av vanlige kjølesystemer består av mange komponenter og krever mye plass. Imidlertid, spesielt i systemer som fungerer i kostnadskrevende renrom, bør størrelsen på belegganlegget være så liten som mulig.

Grafische Darstellung: rechts größerer Schrank mit technischer Anlage, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen, darin Kubus; links Kubus vergrößert dargestellt, darin komplexe technische Einheit, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen; in der Mitte Pfeil von links nach rechts weisend

Når du bruker individuelle komponenter og deres rørføringer, er det mange tettingspunkter. Dette er forbundet med økt risiko for lekkasje. Lekkasjer og omfattende vedlikeholdsarbeid forlenger nedetid og reduserer antall deler produsert av CVD-belegganlegget.

Grafische Darstellung von links nach rechts: größerer Schrank mit technischer Anlage, Detailansicht in Lupe – Figur in Arbeitskleidungmit Schraubenschlüssel in der Hand, die eine komplexe technische Einheit repariert, darum herum verstreut Bauteile – Schrank mit technischer Anlage, Förderband mit Reihe von Halbleiter-Chips, das Ganze durchgestrichen

En jevn produksjonsprosess i CVD-belegganlegg er avgjørende. Bruk av spesialdeler medfører høye logistikkostnader ved vedlikehold. Tilførsel av reservedeler tar også lang tid og kan føre til nedetid i produksjonen.

Grafische Darstellung von links nach rechts: komplexere technische Einheit, Rauchfahne, Symbol Achtungzeichen – Weltkarte; darauf Würfel, die Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventile, Transportfahrzeug – Figur in Arbeitskleidung kniend vor einem Schrank, geöffnete Tür, darin größere technischen Anlage sichtbar

Systemløsninger som er allsidige og som krever lite vedlikehold for dine kjøleoppgaver

Bürkert støtter deg med sin fluidikkteknologiske erfaring i en optimalisert og individuelt tilpasset kjøleløsning for ditt gasseparasjonssystem. Kombinasjonen av plassoptimaliserte, sveisede eller bearbeidede blokkløsninger med beslag i rustfritt stål av høy kvalitet resulterer i kompakte fluidikkløsninger som er nøyaktig tilpasset dine krav. Den velprøvde og pålitelige Bürkert-teknologien kjennetegnes ved at den har en svært lang levetid. Dette øker prosessens pålitelighet, og vedlikehold er nesten unødvendig.

Plassbesparende, sveisede eller bearbeidede blokkløsninger

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Fordelene ved Bürkerts systemløsninger:

Takket være Bürkert-komponentene av høy kvalitet, blir systemene dine mer pålitelige. Feil og tidkrevende vedlikehold hører fortiden til.

Grafische Darstellung Block mit drei Ventilen, Durchflusssensor; Pfeil, Symbol Uhr

Bürkert-enhetene produseres på våre egne fabrikker – uten å være avhengige av lange forsyningskjeder. På grunn av stor lagerbestand, leverer vi direkte i nødstilfeller. Plug-and-play-løsningene muliggjør rask montering og minimerer nedetid.

Grafische Darstellung einer Weltkarte; darauf Würfel, welche Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventilen und eines Transportfahrzeugs; links und rechts der Weltkarte je dieselbe Detaildarstellung einer Anlage mit zentral platziertem Block mit drei Ventilen; links mit einem rot gefärbten Ventil

Med Bürkert-systemløsninger trenger du ikke lenger å montere individuelle komponenter. Dette reduserer monteringstidene til kjølesystemene og dermed produksjonskostnadene for hele belegganlegget.

Grafische Darstellung eines Diagramms mit zwei ansteigenden Kurven, schwarz und blau, y-Achse mit Symbol Geldmünzen, x-Ache mit Symbol Stückzahl; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet der schwarzen Kurve und eines kleineren Bauteils, zugeordnet der blauen, niedriger verlaufenden Kurve

Antall stykker

Sammenligning av en manuell løsning og Bürkerts løsning:

Med komponentkostnader på 200 € og en monteringstid på 50 minutter som krever 100 € i monteringskostnader, fører den manuelle løsningen til en total kostnad på 300 €.

Med Bürkert-løsningen derimot, reduseres monteringstiden til 20 minutter. Dette tilsvarer monteringskostnader på 40 €. Dermed er den totale kostnaden på 240 €. Etter hvert som antallet stykker øker, har besparelsen på 20 % en enorm effekt på de samlede monteringskostnadene.

Den kompakte utformingen av systemet gir rom til individuell design og krever lite installasjonsplass. En plassbesparende design er spesielt viktig for systemer som drives i dyre renrom. Dette betyr at enten flere maskiner kan plasseres i et rom, eller når det gjelder et nytt bygg kan rommene planlegges mindre.

Grafische Darstellung eines größeren Schaltschrankes und einer Einheit aus zwei kleineren Schaltschränken; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet dem größeren Schaltschrank und eines kleineren Bauteils, zugeordnet den beiden kleineren Schaltschränken; die Schaltschränke umhüllt von zwei gleich große Kuben aus punktierten Linien

Plassbehov i renrom: vanlig løsning til venstre, Bürkert-løsning til høyre

I det fullsveisede Bürkert-systemet er det ingen grensesnitt hvor det kan oppstå lekkasjer. Dette eliminerer behovet for omfattende vedlikeholdsarbeid, og CVD-belegganlegget kjører pålitelig.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, Lupe, transparente Detaildarstellung in Kreis, dort Flüssigkeit im Inneren sichtbar; Pfeil, Darstellung einer herkömmlichen Lösung aus einzelnen Bauteilen, verschmutzt und mit herabtropfender Flüssigkeit, das Ganze durchgestrichen

Bürkerts temperaturkontrollsystem kan installeres svært enkelt i ditt CVD-belegganlegg via plug-and-play på veldig kort tid. Ved vedlikehold kan du raskt bytte ut komponenter.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, zwei der Ventile mit Steuerköpfen

Avhengig av hvordan systemet ditt skal struktureres, tilpasser vi det modulære fluidikksystemet og nødvendige eksterne enheter perfekt til dine behov.

Grafische Darstellung von links nach rechts: Ventilblock, Pfeil – Detail einer Anlage mit offenen Rohrleitungen, Pfeil – dasselbe Detail mit eingesetztem Ventilblock; darüber Lupe mit Detailansicht

Individuelle fluidikkblokker for minimal nedetid

Avhengig av dine krav, integrerer Bürkert-løsningen et stort antall komponenter i en sentral fluidikkblokk eller i flere fluidikkblokker. Vi tilpasser systemløsningene våre til dine plassbehov, ønsket funksjonsområde, vedlikeholdskonsept og den angitte digitale kommunikasjonsinfrastrukturen.

Vi tilpasser Bürkert-systemløsninger 100 % til dine krav

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Sammenligning av monteringstidene for en vanlig rørløsning med en Bürkert systemløsning

I denne prøveberegningen viser vi hvor mye monteringstid du kan spare med Bürkert-løsningen hos din komponentleverandør. I følge mottoet «tid er penger» betyr de reduserte monteringstidene enorme kostnadsbesparelser for deg.

Vanlig løsning sammenlignet med: Bürkerts løsning

Vanlig løsning som trippelblokk kontra Bürkert-løsning: Monteringstiden reduseres med ca. 38 minutter per enhet. Dette sparer inn to tredjedeler av monteringstiden.